金融界2024年9月30日音讯，国家知识产权局信息数据显现，浙江中智鲸工智能配备有限公司请求一项名为“一种流体导轨超精度滑台体组合结构”的专利，公开号 CN 118705268 A，请求日期为 2024年5月。
专利摘要显现，本发明触及一种流体导轨超精度滑台体组合结构。它处理了现有设置零点方位尺度差错较大、没办法确保导轨直线度等技术问题。包含下滑台座，下滑台座上端水平滑动设有上滑台座，上滑台座和下滑台座之间构成静压导轨滑台组件，上滑台座和下滑台座之间设有能驱动上滑台座沿下滑台座轴向水平滑动的直线电机驱动组件，上滑台座经过滑动导向结构与下滑台座相连。长处是：该设备选用静压导轨滑台组件和直线电机驱动组件，下滑台座上装置电机定子，上滑台托盘上装置电机动子，电机定子固定，电机动子移动，一起配合着精细尺件和位移传感器使得位移精度高，也处理了设置零点方位尺度差错大的问题，而且定位精度控制在0.0015mm/300mm内。
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