芯源微取得实用新型专利授权：“一种升降反转一体式轴组织”

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现芯源微（688037）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种升降反转一体式轴组织”，专利申请号为CN9.1，授权日为2024年7月9日。

  专利摘要：本实用新型归于半导体晶圆加工设备技术领域，具体地说是一种升降反转一体式轴组织，包含底板、固定立板、中空直驱电机、滚珠花键螺母、空心花键轴及竖直驱动气缸，底板上装置有若干个固定立板，各固定立板的顶端别离与中空直驱电机衔接并支撑中空直驱电机，竖直驱动气缸装置于其间一个固定立板上。本实用新型经过选用中空直驱电机衔接并带动滚珠花键螺母滚动，然后可准确带动顶部装置有负载的空心花键轴旋转指定视点，可以有很大作用防备空心花键轴在运转中产生歪斜，且可由竖直驱动气缸经过拨叉结构带动空心花键轴升降，相对于选用同步带丝杠的升降结构更简略，组织全体运用更为牢靠，且有用减小占有空间。

  今年以来芯源微新取得专利授权21个，较去年同期增加了10.53%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了1.98亿元，同比增30.06%。

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