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姑苏苏纳光电获得晶圆中转设备专利可削减操作时刻进步作业功率

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  金融界2024年11月19日音讯,国家知识产权局信息数据显现,姑苏苏纳光电有限公司获得一项名为“晶圆中转设备”的专利,授权公告号CN 222015378 U,请求日期为2023年12月。

  专利摘要显现,本实用新型公开了一种晶圆中转设备。晶圆中转设备包含:定边单元,包含支撑组织、榜首驱动组织和查验测验的组织,支撑组织用于承载晶圆,榜首驱动组织与支撑组织传动衔接,并至少用于唆使支撑组织绕本身中轴线滚动,查验测验的组织至少用于检测、定位晶圆的定位直边;对中单元,包含导轨、第二驱动组织和至少两个对中组织,至少两个对中组织距离设置在支撑组织的外周区域,至少两个对中组织活动设置在导轨上,第二驱动组织与对中组织传动衔接,并至少用于唆使对中组织沿导轨活动。本实用新型供给的一种晶圆中转设备可快速完结对晶圆的对中及定边操作,对中及定边可在数秒内完结,由此削减了操作时刻、进步了作业功率。

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